3、“MAU+RCAU”系统的优势：
3.1 在一些温湿度控制精度较高的的洁净车间，每个车间需要独立设置空调机组，这些空调机组都需设置新风处理功能段等完整的功能段，这样意味着所有空调箱五脏俱全，如果厂房内洁净车间较多时，空调箱数量就很多，会造成空调机房偏大，投资增加，维护工作量加大等不利因素。如果采用新风集中处理，再分配给各个空调净化系统，这样虽然增加了一台新风机组（MAU)，但是其他循环空调箱（RCAU)均减少了很多功能段，节省了设备投资也节省了空调机房面积及机房外墙新风百叶开口数量。
3.2 在冬季室外气温较低的北方地区新风往往要预热，不然与一次回风直接混合的时候很有可能产生冷凝水；洁净车间一般部有湿度要求，冬季处理过程往往需要加湿空气，因此白白加大了加湿负荷。夏季新风含湿量高，温度也高，与回风直接混合后，有可能需要多级多排的表冷器来处理，大大加大了空调机组表冷器负担。然而新风集中处理后再送入循环空调箱与回风混合，减少了循环空调箱的功能段及过滤器的更换频率，降低了循环空调箱的风机压头，避免了能源的浪费。
3.3 新风作为洁净室控制的重要污染源，集中预处理可以强化新风的过滤和便于管理，为洁净室运行提供更安全的保障。
3.4 采用“MAtJ+RCAU”方式中，新风处理到室内送风露点，以满足洁净室的湿度要求。处理后新风通过风管送至各循环空调箱，经与回风混合后再通过表冷或者加热处理来满足洁净室的温度要求。这样使洁净空调系统的湿度和温度分别由新风处理机组和空调循环机组来负责，使温度和湿度控制具有独立性及可操作性，尤其是在洁净室内新风量变化时其优越性体现得更为明显。
4、“MAU+RCAU”系统的控制方案：
4.1 新风机组（MAU)采用变频风机，由总送风管上的静压传感器来控制变频器。在接入循环机组(RCAU)的新风支管上均设置电动调节阀，由各洁净室的正压值来调节电动调节阀的开度，使洁净室的正压值不随生产设备的排风量的变化而变化，电动调节阀的开度变化引起总送风管上的静压变化，根据其设定值调节(MAU)的风机频率，来控制新风机组的总送风量；其原理见图二。
4.2 控制新风机组（MAU)送风状态点，使其与洁净房间的送风露点相同，这样就可以保证净化车间的湿度要求。根据送风状态设定值来调节加湿器的电动执行机构和表冷器及加热器回水管上的电动二通阀的开度；露点温度“DPT”由检查室内湿度敏感元件“HE”连续整定。
4.3 净化生产车间的温度是由循环机组（RCAU)来保证的，经新风处理机处理后的空气状态为洁净房间的送风露点，新回风混合点一定在该洁净房间的热湿比线上，根据室内温度来调节表冷器和加热器回水管上的电动二通阀的开度。其原理见图二：
一般情况下，在电子洁净厂房中，大部分洁净室温湿度要求基本都相同而且也允许一定范围的波动，这些车间都可以使用“MAU+RCAU”系统。但在某些车间具有很大的室内产湿量，其热湿比线并不是一条竖直的直线，采用新风集中预处理系统就无法满足要求，应该考虑独立的空气处理方式；还有就是当RCAU系统的新风比均比较大的时候，使用“MAU+RCAU”系统也很难体现其优势。
结束语：
在电子洁净厂房空调设计中，正确的新风量的计算，有效的过滤及合理的热湿处理方案是洁净车间能否成功的重要因素之一；不同建筑布局，不同工艺需求就应该要有不同的洁净空调方案；“MAU+RCAU”系统在节能，控制，管理方面有诸多优势，建议设计时优先考虑。
